免費領 |看看MEMS教育部重點實驗室是如何介紹MEMS的?（附下載）
摘要
東南大學MEMS教育部重點實驗室是以微電子學科為主題、結合電子工程系固體電子學研究室、工程力學系和機械工程系相關課題組，組建了跨學科的研究結構，于1999年申請建立教育部重點實驗室。實驗室2000年6月通過教育部可行性論證、2001年9月通過教育部驗收、2002年11月通過教育部評估。下面看看一份來自該實驗室的課件
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